多层表面3D同时测量,精度可达0.05um
通过白光分光成连续波长的光谱,每个波长聚焦在被测物体表面的特定位置,形成垂直焦平面,获取物体的三维形貌、纹理特征和光谱数据。
产品特性:
精度高、速度快
亚微米级分辨率,Z轴重复精度50nm
测量功能丰富易集成
丰富的3D测量功能,SDK接口简洁、兼容性高
测量不受材质和外界环境影响
可测量几乎所有材质,无需对待测物进行任何处理即可直接测量。内置测量和检测软件
一次性测量多层透明材料
基于光谱共焦技术,一次扫描实现多层形貌测量。
每条轮廓生成2048个点,可精确描绘物体形状,实现精密测量
○ X 分辨率达 2 微米
○ 满景深测量速度为 5000HZ
○ 集成测量软件与丰富的测量工具
○ Z 方向景深为 3 毫米
○ Z 轴重复精度为 0.05 微米
多材质适应性,满足多样化材料需求,兼容各类复杂材质
传感器能够有效避免强反射光对测量结果的影响, 即使在透明、半透明、镜面、高反光、高吸光材料上也能获得清晰的 3D 成像。
内置测量软件和丰富的测量工具
调试内容丰富,流程简单易上手,多种测量工具满足样件的测量需求。
多层检测 精准覆盖每一层细节
基于横向色相差的光学检测方法,可通过一次扫描,构建多个透明层的 2D和 3D 数据,实现多层检测。



