NM系列衍射三维形貌仪

纳米级XYZ精度 / 原位测量 / 光栅测量

通过光学正向建模算法得到的仿真光学参数，与实际测量的光学参数进行比对；利用LM算法、库匹配、神经网络算法， 提取出样品光栅的占空比、厚度与侧壁角等结构参数。

高精度

实测（标准件在SEM和NM-300测量结果对比） 单位：nm

两种模式，两种应用场景

实验阶段 （ 优化模式）

在实验阶段，建立其理论的形貌模型，

通过大量仿真的光学参数实时比对，提取出样品光栅的占空比、厚度与侧壁角等结构参数。

量产阶段  （库匹配模式）

在量产阶段，已确定形貌的设计值，仅需调用数据库内的仿真光学参数，

提取出样品光栅的占空比、厚度与侧壁角等结构参数。

库匹配时间根据计算机运算能力可达毫秒级别，加之光学数据采集，整体测量时间＜20s。