ERUA200 高精度气浮旋转平台

ERUA200 高精度气浮旋转平台

ERUA系列旋转台采用闭式大承载气浮结构设计，大扭矩直驱电机驱动，圆光栅反馈系统，实现高分辨率、高精度、高负载运动控制。

特点

• 超高刚性 • 超大承载力

典型应用

• ERUA系列气浮转台非常适用于高精度应用，精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。由于运动无摩擦，不会形成颗粒，ERUA系列气浮转台非常适用于无尘室应用。