NNS-Z200RXY2-01 高精度三维纳米定位平台

NNS-Z200RXY2-01是一款高精度纳米运动平台。集成Z轴和Rx/Ry在一起，结构紧凑。电容传感器全闭环控制，精度高。大通孔设计，阳极氧化黑工艺，满足多场景应用。

典型应用

• 光学对准          • 样品对准
• 集成光学          • 光学测量

• 纳米定位          • 精密加工