ERDA200 高精度气浮旋转平台

ERDA200 高精度气浮旋转平台

ERDA系列旋转台采用闭式气浮结构设计，直驱电机驱动，圆光栅反馈系统，实现高分辨率、高精度运动控制。

特点

• 高分辨率 • 高精度 • 高刚性

典型应用

• ERDA系列气浮转台非常适用于高精度应用，精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。由于运动无摩擦，不会形成颗粒，ERDA系列气浮转台非常适用于无尘室应用。