NNS-XY700Z200-01 超大行程XYZ三维纳米定位平台

NNS-XY700Z200-01是一款高精度超大行程三维纳米定位平台，闭环行程可达700/700/200μm，闭环分辨率 5/5/3nm。

典型应用

• 显微成像         • 激光加工

• 表面检测         • 光学测量
• 半导体加工