NNS-XY100RZ2-01 高精度三维纳米定位平台

NNS-XY100RZ2-01是一款集成平移和旋转的高精度纳米运动台。电容传感器全闭环控制，精度高，结构紧凑。大通孔设计，阳极氧化黑工艺，满足多场景应用。

典型应用

• 显微成像          • 激光加工

• 表面检测          • 半导体加工