ERTA200 高精度气浮旋转平台

RTA200 高精度气浮旋转平台

ERTA系列旋转台采用开式气浮结构设计，独有超薄直驱电机驱动，大口径圆光栅反馈系统，实现超薄、超高分辨率运动控制。

特点

• 超薄 • 分辨率高 • 水平使用

典型应用

• ERTA系列气浮转台非常适用于高精度应用，精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。由于运动无摩擦，不会形成颗粒，ERTA系列气浮转台非常适用于无尘室应用。