NNS-XYZ100RZ2RXY1-01 六维纳米定位平台

NS-XYZ100RZ2RXY1-01是一款高精度六维纳米运动台。集成平移、升降和旋转在一起多达六维运动，结构紧凑。电容传感器全闭环控制，精度高。大通孔设计，阳极氧化黑工艺，满足多场景应用。

典型应用
• 显微成像          • 纳米定位
• 光学对准          • 激光领域
• 集成光学          • 光学测量
• 半导体加工