VMZ高精度影像仪

VMZ超高精度影像仪专为高精度测量场景倾力打造，亚微米级精度，适用于半导体、微组装、光通信等高精度测量场景。

高性能光学系统，超高放大倍率

• 多种高倍显微镜头可选择，放大倍率可达 25-6000倍 

• 激光辅助对焦，聚焦时间小于1秒

• 可程控式环形落射光源，LED轮廓光源，同轴光源，光源配置丰富，产品适用范围广

高精度运动平台

• 花岗岩主体结构，精度高、稳定性好

• 采用纳米级超低膨胀系数光栅尺，确保机台精度及稳定性 

• 高速静音电机驱动，设备平稳可靠

丰富的配件选项

• 可加装光谱位移传感器，实现高度、平面度等尺寸的扫描与打点测量

• 多种可选物镜，实现更多的放大倍率

运动行程(mm)

400 x 300 x 200

测量范围(mm)

400 x 300 x 135