DaVinci 套刻误差精密量测系统

⾯向先进晶圆制造的高精度 Overlay 量测平台

DaVinci 系列是专为半导体晶圆制造流程中套刻误差(Overlay)量测设计的⾼精度量测系统，采⽤创新的结构框架与全⾃动化操作架构，提供稳定可靠、精度达亚纳⽶级的套刻误差量测能⼒。 

系统特别⾯向 Foundry 客户的⾼阶⼯艺需求，结合⼈机友好的软件界⾯、⾃动化配⽅(recipe)⽣成与优化功能，极⼤简化操作流程，提升测量效率与⼀致性。同时，系统内建标准 SECS/GEM 通讯协议，确保与 Fab ⾃动化系统⽆缝集成，⽀持量产环境下的⾼通量需求。

超高测量精度

低至亚纳米的整体精度

灵活易用

⽀持8~12⼨的晶圆以及混合搭配

成熟，稳定，可靠

低COO，易维护，无短周期消耗品