TB2000 明场纳米图形晶圆缺陷检测设备

TB2000采用全自主研发的高功率宽光谱激光激发等离子体光源系统、深紫外大通量高像质成像系统，配合高行频TDI相机、超精密高速运动平台，同时结合AI图像处理算法和Design CA，有效提升缺陷检测灵敏度和检测速度。

TB2000的发布，使天准成为全球少数具备14nm及以下技术节点明场检测装备交付能力的厂商，逐步实现先进工艺中缺陷检测装备的国产替代。

方案优势

高灵敏度

• 可稳定抓取尺寸 30nm 及以上缺陷

• 先进的信号处理算法，有效提高信噪比

• 深紫外宽波段，可抓取各种类型缺陷

高Throughput

• 高data rate

• 多种pixel size 选择

• 支持high speed 扫描模式

智能软件支持

• 在线智能分类系统SDA

• 工艺窗口验证

• 支持design care area

自主可控国产供应链

• 深紫外大通量成像系统

• 高速深紫外TDI

• 高功率LSP光源
  

• 超精密运动台