CMU系列高精度三坐标测量仪

CMU系列高精度三坐标测量机是天准生产的高端测量设备，采用单边高架结构，移动质量更轻，有效提高运动性能以及精度稳定性。直线电机的运用，在保证精度的同时，提供更高的测量速度和加速度，可满足复杂零部件的检测需求。具有卓越的精度、较高的效率及稳定的性能等特点，可帮助实现精密加工、装配和质量控制，应用于汽车制造、医疗行业、电子工业及加工制造等领域。

优异的结构设计

• CAE辅助设计分析，减少结构设计的偏差，提高结构的稳定性，保证精度的长期稳定

• 单边直驱移动桥结构，移动质量更轻，驱动更接近移动质心，有效提高运动性能和精度稳定性

极致的稳定性

• 关键结构部分采用高精密碳化硅陶瓷材料，移动桥在质量更轻的同时，具备更高刚性与更低温度线膨胀性能，极大

• 提高了精度与长期可靠性

• 高刚性高性能气浮导向，无摩擦无磨损，三轴均采用四面环抱式设计，具备气浮压力监测功能，有效确保稳定性

• 三轴采用超低线温度线膨胀系数光栅尺，对温度变化不敏感，有效提高整机的精度

安全性

• Z轴采用柔性平衡气缸，确保Z轴运动的可靠性

• Z轴平衡气缸具有气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制，可在紧急情况下确保探测系统的安全

自主研发，具有更好的适配性

• 革命性的直线电机驱动搭配TCC自研电控

• Vispec Cube 自研软件，获得德国PTB最高等级 Class1（0.1微米、0.1角秒） 认证

• HSP固定扫描测头

• TR50旋转测座