CMZ系列计量型三坐标测量仪

CMZ系列计量型三坐标测量机是天准生产的高端计量设备。采用固定桥结构形式及碳化硅陶瓷的Z轴组合，保证了机械结构的稳定性。直线电机的运用使其在保证精度的同时，提供更高的测量速度和加速度，可满足复杂零部件的检测需求。该系列具有卓越的精度、较高的效率及稳定的性能等特点，可帮助实现精密加工、装配和质量控制，应用于计量检测、航空航天、国防科工、汽车制造及电子工业等领域。

计量级精度

• 得益于良好的系统设计，可实现亚微米级精度测量

优异的结构设计

• 测量机采用固定桥式的高刚性机械结构，使用花岗岩横梁、底座和立柱，以及精密SiC陶瓷Z轴的组合，保持机械结构的稳定性，抗外界干扰能力强

• 移动工作平台采用双燕尾式气浮导轨，确保系统测量和系统承载的同时提供良好的稳定性

极致的稳定性

• SiC陶瓷Z轴具有热膨胀系数小、刚性强以及质量轻等优点，在保证测量系统稳定性的同时，亦提高了运动特性

• 各轴采用预载空气轴承及环抱式布局，具有高刚性、无接触、低摩擦以及低磨损的特点，有效保证机器的使用寿命，减少测量不确定性的发生次数

• 采用零膨胀系数光栅尺，分辨率高达到纳米级别，且不受外界温度影响，保证机器的高精度和稳定性

安全性

• Z轴采用柔性平衡气缸，确保Z轴运动的可靠性

• Z轴平衡气缸具有气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制，可在紧急情况下确保探测系统的安全

自主研发，具有更好的适配性

• 革命性的直线电机驱动搭配TCC自研电控

• Vispec Cube 自研软件，获得德国PTB最高等级 Class1（0.1微米、0.1角秒） 认证

• HSP固定扫描测头

• TR50旋转测座