SEM5000Pro是低电压高分辨的热场发射扫描电镜，使用了高压隧道技术（Super-Tunnel）、无交叉电子光路、静电电磁复合物镜设计，减少了空间电荷效应，降低系统像差，实现了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低压下的成像分辨能力提升，可对不导电样品或半导体样品进行直接观察，有效降低了样品辐照损伤。
产品特点：
1.分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像
2.电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品
3.高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证
4.电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力
5.水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
6.磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
产品参数
| 关键参数 | 分辨率 | 0.8 nm @ 15 kV，SE 0.7 nm @ 15 kV , (减速模式） 1.2 nm @ 1.0 kV，SE 0.7 nm @ 35 kV STEM |
| 加速电压 | 20 V ～ 30 kV （可升级35kV） | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 摄像头 | 双摄像头 （光学导航+样品仓内监控） |
样品台行程 | X: 110 mm，Y: 110 mm，Z: 50 mm | |
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器：Inlens 仓室内电子探测器：ETD |
| 选配 | 插入式背散射电子探测器（BSED） 低真空二次电子探测器（LVD） 背散射衍射（EBSD） 样品交换仓（4 寸 /8 寸） 轨迹球&旋钮板 | |
| 软件 | 语言 | 中文SEM软件 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配） | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
冀公网安备13110802000160号