SEM3300 是全新一代钨灯丝扫描电镜,将高压隧道技术(Super-Tunnel)、镜筒内电子探测器、静电电磁复合物镜等技术,应用在钨灯丝电镜上,突破了钨灯丝的分辨率极限,让钨灯丝电镜也能完成一部分场发射电镜才能完成的低电压分析任务。
突破钨灯丝极限的分辨率
2.5 nm @ 15 kV
电子光学系统 | 分辨率 | 2.5 nm @ 15 kV,SE |
4 nm @ 3 kV,SE | ||
5 nm @ 1.0 kV,SE | ||
放大倍率 | 1 x~300,000 x | |
加速电压 | 0.1 kV~30 kV | |
成像系统 | 探测器 | 仓室内二次电子探测器(ETD)、镜筒内电子探测器(Inlens) |
*背散射电子探测器BSED、*能谱仪EDS、*背散射衍射(EBSD) | ||
样品室 | 摄像头 | 光学导航 |
样品仓内监控 | ||
样品台行程 | X=125 mm,Y=125mm,Z=50mm | |
T 行程 | -10° ~+90° | |
R 行程 | 360° | |
样品台配置 | 五轴真空电机驱动 | |
软件 | 语言 | 中文 |
操作系统 | Windows | |
导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球(选配) | |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | |
扩展 | 选配 | 样品交换仓 |
旋钮板 & 轨迹球 |