HEM6000 高速扫描电子显微镜

HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。
采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。
面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。

图像采集速度

10 ns/pixel，2*100 M pixel/s

加速电压

100 V~6 kV(减速模式) ； 6 kV~30 kV(非减速模式)

分辨率

1.3nm@3kV，SE；1.5nm@1kV，SE，0.9nm@30kV，STEM

视场大小

最大视场1*1 mm²，高分辨微畸变视场64*64 um²

样品台精度

重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um

高速扫描驱动器

驻点时间10 ns/pixel，最快采集速度2*100 M pixel/s

电子过滤系统

SE/BSE信号自由切换，信号混合比例可调

全静电高速偏转系统

可实现高分辨大场模式，4 nm像素点最大视场达64*64 um²

样品台减速技术

降低入射电子落点电压，同时提高回收电子的收集效率

浸没式电磁复合物镜

物镜磁场浸没样品实现了低像差高分辨率

产品优势

1.高速自动化

全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍

2.大场低畸变

跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变

3.低压高分辨

样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率