TG IF/DP/LS/E Series 大硅片几何形貌量测设备系列

用于测量有、无图形晶圆形貌及应力的设备。它通过高精密的光学系统同时获取晶圆正背两面的几何数据，可提供行业内领先的纳米形貌和平坦度检测。