重载五自由度压电平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制,具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
技术特点：
亚纳米级定位稳定性
纳米级闭环运动分辨力
无摩擦柔性铰链导向
空间多自由度
各级真空兼容性
大负载
应用领域：
大口径干涉仪
物镜稳像器
光学对准
纳米压印
显微成像/操纵
表面检测
半导体加工
规格参数：
型号 | NP-ST-FAC-5011A |
运动轴 | X, Y, Z, θX, θY |
传感器类型 | 电容传感器 |
驱动类型 | 压电陶瓷 |
闭环行程 | XY:100μm Z:40μm θXθY:±150μrad |
分辨率 | XY:＜2nm Z:＜1nm θXθY:＜20nrad |
线性度 | XY: 0.03% Z: 0.03% |
重复定位精度 | XY:＜10nm Z:＜10nm θXθY:0.1μrad |
最大负载 (kg) | 35 |
平台噪声 (nm) | ＜2 |
谐振频率@35Kg | Z:＞100Hz θXθY:＞100Hz |
材料 | 铝合金/钛合金 |
尺寸 (mm) | Φ500x117 中空Φ360 |
带载最高工作频率(Hz) | 10 |
工作温度（℃） | 0-50 |
适配控制器 | 纳米伺服控制器APS-203010101 |
冀公网安备13110802000160号