物镜压电纳米平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态位移扫描功能。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点：
亚纳米级分辨率
超高定位精度
高速、高动态
无摩擦柔性铰链导向
多运动模式：定位/扫描
兼容超高真空
应用领域：
超分辨率显微微调
3D成像
显微成像/操纵
振动台
压电微位移
干涉测量
生物技术
半导体测试
规格参数：
| 型号 | NP-0L-Z-50 | NP-OL-Z-100 | NP-OL-Z-200 |
| 运动轴数 | 1 | ||
| 传感器类型 | 电容传感器 | ||
驱动类型 | 压电陶瓷 | ||
闭环行程 (um) | 50 | 100 | 200 |
分辨率 (nm) | 0.35 | ||
重复定位精度 (nm） | 1 | ||
| 无负载谐振频率 (Hz) | 900 | ||
最大负载 (kg) | 2 | ||
材料 | 铝合金 | ||
电气接口 | D-sub9 | ||
工作温度 (℃) | -20~80 | ||
尺寸 (mm) | 38x62x72.5 | ||
自重 (g) | 280 | ||
真空 (mbar) | 超真空兼容（5x10-9）（可选） | ||
推荐控制器/驱动器 | 数字伺服控制器 NPC-031/数字伺服控制器 NPC-042/纳米伺服控制器 APS-203 | ||
冀公网安备13110802000160号