重载Z轴纳米定位/扫描平台

重载Z轴纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态位移扫描功能。

支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。

技术特点：

• 超高定位精度

• 高动态

• 多运动模式：定位/扫描
  

• 兼容超高真空

• 无摩擦柔性铰链导向

应用领域：

• 光学对准

• 纳米压印

• 显微成像/操纵

• 光栅刻写

• 双光子聚合

• 光学移相

• 晶圆检测

• 表面检测

• 测量技术

• 半导体加工

规格参数：