北京理工大学MEMS微型傅里叶变换近红外光谱仪交付使用

2024年，北京理工大学重庆微电子研究院院长谢会开教授团队研发成功MEMS微型傅里叶变换近红外光谱仪（简称微型FTS光谱仪），该仪器可广泛应用于食品、农业、石油化工等多个领域。近日，FTS-DT-101型微型近红外光谱仪批量生产并完成交付。

本次交付的“FTS-DT-101型微型近红外光谱仪”凭借其技术创新性，已入选"2024西部（重庆）科学城十大科技创新成果"。该产品利用MEMS电热微镜技术，成功规避对电机的依赖，采用自主研发、生产的MEMS微镜，打破国内光谱仪核心部件技术瓶颈，解决微镜热响应时间、调制精度、驱动控制等系统问题，填补了国内技术空白，达世界领先地位。

微型FTS光谱仪的内核，即“全球首款超大位移电热MEMS微镜“。谢会开教授透露，团队成员自2008年起便致力于寻找合适的芯片材料。经过不懈努力，他们从众多备选材料中筛选出满足要求的金属与介电质双材料组合。整个研发过程，从芯片到模组，再到系统及整机软件与算法，均实现了自主创新。