无畸变、支持定制
国产手动台阶仪 JS10B,稳定可靠的重复性测量,采用金刚石探针,无畸变的观察样品区,实时观察扫描区域,突破三个核心技术,国内研发生产,便于售后服务。
泽攸科技JS系列台阶仪作为国产高精度表面测量设备的代表,凭借其创新的技术架构、灵活的应用场景及可靠的测量性能,可以对微纳结构进行膜厚和台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量,在高校、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域有着广泛应用。
JS系列台阶仪通过金刚石探针与样品表面的接触扫描,将微观轮廓的垂直位移转化为电信号,结合高灵敏度传感器与信号处理算法,实现纳米级精度的表面特征捕捉。其核心技术亮点在于超微压力恒定控制系统,通过精密调节探针与样品间的接触压力,既避免了对软质材料的损伤,又确保了测量过程的稳定性。此外,设备搭载的摄像头实时成像系统,可同步观察样品区域与探针尖端的位置关系,辅助用户精确定位特征结构,显著提升测量效率。
作为国产科学仪器的突破性成果,JS系列台阶仪打破了国外品牌在高端表面测量设备领域的长期垄断,凭借高性价比与本地化服务优势,成为国内高校、科研机构及制造企业的优选设备。
特点:
量测精确、操作便捷、体积小巧、超高性价比
• 应用范围:
▲ 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量
▲ 各式薄膜等应力测量
JS10B | |
样品 | 单片(厚度≤10mm) |
样品尺寸 | ≤150mm |
样品材质 | 硅、钽酸锂、玻璃等(不透明,半透明) |
重复性测量偏差 | ≤0.5nm(1σ 1um标准块重复扫描30次) |
最大测量范围 | 80um |
垂直分辨率 | 0.05nm 满量程 |
探针加力范围 | 0.5~50mg |
力控制 | 恒定 |
采样速度 | 200Hz |
扫描方向 | 左右双向 |
扫描最大采集点数 | 200万点 |
扫描速度 | 5um/s - 100um/s |
样品台运动方式 | 可实现水平(X/Y),旋转(RZ),手动控制 |
XY样品台行程 | 150mm(快慢速调节) |
Z样品台行程 | 10mm |
样品旋转台 | ±360° |
标准探针 | 曲率半径≥2um 角度60°(标配) |
亚微米探 | 曲率半径≤1um 角度60°(选配) |
软件功能 | 台阶、粗糙度等表面形貌测量,应力测量 |