LS35x.Lab压电线性位移台

1

特殊版本

.HV，高真空版本；

.UHV，超高真空版本；

.NM，完全无磁版本；

⽆

2

外形尺寸

35 × 35 × 12 mm

3

主体材料

标准版，.HV，.UHV 不锈钢：85 g；NM，纯钛；65 g

不锈钢；85 g

4

运动行程

20 mm

5

速度范围

默认：0.1 μm/s ~ 20 mm/s； .HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 2 mm/s

6

驱动力

典型值：2 N ；可选配：4 N

2 N

7

保持力

典型值：3 N ；可选配：5 N

8

水平方向使用最大负载

1 kg

9

竖直方向使用最大负载

默认：100 g，可选配：250 g

10

双向位置重复精度

±100 nm

±300 nm

11

全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

12

最小步伐（闭环)

5 nm

100 nm

13

位置传感器类型

光学位置传感器

14

位置传感器分辨率

标准版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm；

50 nm

15

线缆 & 接头

默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK)

16

控制器规格

MC-Newton.S系列