YMC-100离子溅射镀膜仪采用磁控溅射镀膜,沉积速率快,镀膜操作简便,适用于不同种类的扫描电镜非导电样品。
核心优势:
磁控溅射镀膜,沉积速率快;
多角度全面镀膜,样品台直径70mm,倾角±35°,升降0-20mm;
触屏操作简便;
样品室可抽真空,用于样品真空保存。
用户界面
使用便利:
用户界面简洁,参数设置便利;
工作时显示设备关键参数,全过程可控;
模块化设计,不同功能间切换快捷;
维护简单,无需特殊保养。

| 离子溅射镀膜仪参数 | |
|---|---|
| 设备整体尺寸(宽*高*厚) | 435*380*310mm |
| 腔室尺寸 | 120*130*150mm(可定制) |
| 触摸屏尺寸 | 7寸 |
| 工作电压 | 220V |
| 功率 | 500W |
| 靶材尺寸 | Φ54*0.1mm |
| 工作气压 | 5-10Pa |
| 抽真空时间 | <1.5min |

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