YF1801扫描电子显微镜采用热场发射电子枪(SchottkyFEG)技术，电子光学镜筒中融入了先进的全镜筒加速技术，确保了低加速电压下电子束优异的成像性能，适用于各类材料的高分辨成像。多种探测器系统，能高效收集从样品中激发出的的多种电子信号进行成像，可最大程度揭示样品的微观形貌和结构信息。
| 核心参数 | 分辨率 | 1.0nm@15kV（SE） |
| 1.5nm@1kV（SE） | ||
| 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | |
| 物镜类型 | 集成静电透镜和磁透镜的复合物镜 | |
| 电子束流 | 1pA~20nA（100nA选配） | |
| 图像分辨率 | 256*256~16k*16k | |
| 探测器及拓展 | 标配 | 样品室内二次电子探测器 |
| 镜筒内二次电子探测器 | ||
| 选配 | 背散射电子探测器 | |
| 扫描透射电子探测器 | ||
| 等离子清洗仪 | ||
| 样品室 |
仓室 | 内径340mm，高度260mm |
| 多附件接口，可加装EBSD、EDS、CL等多种附件 | ||
| 样品台 | 五轴全自动样品台 | |
| 最大样品重量2.5kg | ||
| X、Y=125mm，Z=50mm，R=360°连续，T=-10°~+70° | ||
| 影像系统 | 双摄像头（光学导航、样品室内监控） | |
| 软件及图像处理 |
语言 | 中文/英文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 自动功能 | 自动电子枪对中、自动光缆对准/磁滞消除、自动聚焦、自动像散消除、自动亮度对比度等 | |
| 其它功能 | 分屏显示、图像注释、图像测量、图像混合、大面积图像采集和拼接、扫描旋转、倾斜补偿等 |
冀公网安备13110802000160号
