神影MV-1000/MV-7000 Miracle Vision 3D显微镜

• 表面粗糙度重复精度高达0.1 nm

• 垂直方向测量精度可达1 nm

• 支持样品尺寸可达1000 mm及以上

神影 Miracle Vision系列提供了非接触的表面形貌测量，具有极高的可重复性，可广泛应用于半导体芯片、光学透镜、金属表面、汽车涂层、MEMS器件等广泛精密加工行业的形貌、粗造度长度、曲率、深度、体积、颗粒分布等形貌测量，同样适用于航天、医疗、材料、科学研究领域。可检测各种粗糙度、各种反射率的器件表面，检测器件的表面尺寸从纳米、微米到毫米，都可由同一台设备完成，提供主流的国内外标准下，上百种测量参数，将观测细节可视化、数据化，一次完成。

景深融合-清晰的2D成像

由于物镜的小分辨率和长焦深不能由单次拍照获得。为了能够观察到长焦深范围内小尺寸特征和结构，托托科技采用景深融合技术，一次性观察不同焦深的高分辨率图像。

景深延拓-景深延拓3D成像

景深延拓通过分析不同焦点高度处的对比度变化，实现对物体的三维表面测量和特征描述，能够详细检查物体表面，并以长景深的方式获取精确的三维成像。

白光干涉形貌仪-纳米级的3D形貌量测

白光干涉形貌仪是一种快速且高分辨率的技术，用于大范围的表面拓扑测量，能够实现亚纳米级分辨率的重建。

应用领域

半导体领域

在半导体制造过程中，白光干涉显微镜可以用来测量芯片表面的形貌，检测缺陷和杂质，对于确保芯片的质量和性能以及优化工艺参数等方面具有重要意义。

材料科学领域

在材料科学研究中，白光干涉显微镜可用于分析材料表面的微观结构和形貌变化，研究材料的力学性能和表面特性，推动材料科学的进步与发展。

纳米技术领域

在纳米技术研究中，白光干涉显微镜可用于测量纳米结构和纳米材料的表面形貌，探索纳米材料的性质和应用。

光学元件领域

在光学元件制造过程中，白光干涉显微镜可用于测量光学元件表面的形貌和光学特性，为光学系统的设计和优化提供关键数据，确保光学元件的精度和性能。