成熟稳定的光学设计;
分辨能力2.5nm@30kV;
多种观测模式轻松切换;
高效覆盖从超大视场、超高分辨到超大束流分析等多种应用场景;
技术成熟与场发射机型使用相同生产制造标准;
品质稳定,质量可靠。
关键技术
中间镜技术
物镜系统中的中间镜在不同发射能量和束流强度下均可对电子束运动轨迹进行实时调整,从而保证不同发射条件下均可获得高质量电子束。
无极光阑技术
无需切换光阑即可连续调整束流,调整时无需进行对中操作,极大程度上 方便成像模式切换。
低真空技术
电子光学系统可以承受最高500Pa的仓室真空度,几乎所有不导电类样 品都可以直接观测,无需做导电性处理。
产品参数
电子枪 | 钨灯丝发射枪 | ||
镜筒技术 | 无极光阑技术、中间镜技术 | ||
分辨率 | 高真空 | 2.5nm@30kV;5nm@15kV | |
低真空 | 3nm@30kV | ||
样品仓尺寸 | 直径>230mm | ||
样品台行程 | X>80mm,Y>60mm,Z>50mm; | ||
大视野 | ≥50mm |
成像图
金属断口
碳纤维负载纳米颗粒
聚合物小球