产品特点
低电压高分辨
配备新一代电子光学镜筒，具备优越电子光学性能,重点优化了低电压下高分辨力,实现1.5nm(1kV),可以轻松观测易受电子辐照损伤的样品。
兼容性强可拓展
① 宽大的主真空腔室，最大化考虑通用扩展性
② 可保证兼容任意第三方厂商探测器及附件系统。
③ 多达27个附件端口的数量，是目前可扩展性最强的扫描电镜之一。
操作智能易使用
具备自动化进取样功能，配有多角度相机，能够全方位监控腔室内的情况；拥有贴近用户设计的系统交互软件，最大程度简化用户操作，即使没有电镜使用经验的用户也可对其轻松上手
产品参数
一、电子光学系统
| 电子枪 | Schottky 场发射 | |
| 物镜类型 | 非浸没电磁复合透镜 | |
| 加速电压 | 0.02-30kV | |
| 束斑电流 | 10pA 至 30nA（100nA 选配） | |
| 放大倍数 | 10x - 1,000,000x | |
| 分辨率 | SE | 1.5nm(1kV)、0.9nm(15kV) |
| BSE(选配) | 2.5nm(1kV)、1.5nm(15kV) | |
| STEM | 0.8nm（30kV） | |
二、真空系统
| 离子泵（IGP） | 25 L/s+2X20L/s |
| 涡轮分子泵（TMP） | 250 L/s (N₂） |
| 前级真空泵 | 15m³/h 机械泵、无油涡旋机械泵（选配） |
| 电子枪真空 | < 1.0 x 10 - 7 Pa |
| 主样品室极限真空 | < 1.0 x 10 - 4 Pa |
| 样品室接口数 | 27 个 |
| 预抽室 | 50mm 样品托盘自动送样 4/6 英寸晶圆自动送样（选配） |
| 预抽室光学导航 |
三、样品运动平台
| 样品台行程 | X | 140mm |
| Y | 140mm | |
| Z | 60mm | |
| R | 连续 360° | |
| T | -10°80° | |
| 重复定位精度 | X/Y/Z ≤ 1um（选配） | |
| 样品最大承重 | 5kg | |
四、图像处理系统
| 最小驻留时间 | 20ns |
| 采集方式 | 4 通道同步采集 |
| 最大图像分辨率 | 24k x 24k 像素 |
五、数据处理系统
| CPU | Intel Xeon E5 及以上处理器 |
| 内存 | 32G |
| 显卡 | 显存≥24G，位宽≥384bit |
| 显示器 | 34 英寸超宽屏显示器 |
| 控制台 | 人体工程学可升降操控台 |
六、探测器系统
| 检测器 | 能谱仪 波谱仪 电子背散射衍射仪 阴极荧光探测器 |
| 附件（选配） | 聚焦离子束 原位拉伸加热台/制冷台 冷冻转移样品仓等第三方附件设备 |
冀公网安备13110802000160号