Invizo 6000 三维原子探针(APT)

 
 
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更新 2025-04-09 17:55
 
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详细说明
视野非常大的三维原子探针

Invizo 6000 三维原子探针显微镜引入重大技术突破,推动了原子探针分析的发展。其超宽视场飞行路径和独特的双光束深紫外激光脉冲系统使单样本产量更高、分析量更大、重建保真度更高,可从每个数据集获得更多信息。Invizo 6000 是各种应用进阶研究的理想选择。

CAMECA 的 Invizo 6000 三维原子探针的核心是一个全新的对电极概念,除了使离子光学具有前所未有的 APT 视场外,还允许样本的对称激光照明,从而实现非常优越的的分析能力。

Invizo 6000 提供了一个独特的组合,即:其视场是所有三维原子探针中属于非常大的,同时凭借新的双 einzel 透镜技术保持了高质量分辨率 (MRP)。它还集成了一个先进的 257.5 纳米深紫外 (DUV) 激光模块,使样本产量和数据重建质量得到了极大的改善。

随着2003年局部电极原子探针(LEAP )的推出 ,原子探针层析成像(APT ) 已成为一种标准的材料科学方法,能够对金属和合金、陶瓷、半导体 、生物材料和地质材料进行三维纳米级成分表征。基于几十年的APT仪器及应用成功经验,CAMECA推出其下一代APT产品,即6000系列三维原子探针。

Invizo 6000三维原子探针取得了重大技术突 破,推动了原子探针分析的深入发展。

CAMECA新推出的Invizo 6000三维原子探针的核心是一1页全新的对电极概念,除了提升前所未有的APT视场的离子光学特性之外,还支持对样品进行对称激光辐照,从而提供无与伦比的分析能力。

得益于新颖的双透镜技术,Invizo 6000提供所有三维原子探针中最大视场和高质量分辨率的独特组合。该款仪器还包含一个先进的257.5 nm深紫外(DUV ) 激光模块,能够显著提高样品分析成功率和数据重构质量。

检测器位图显示铝样晶体结构


Invizo 6000的视角超过110度,几乎是LEAP 5000正常60度视角(绿色虚线)的两倍。


特性及优势:

主要特点
结果优势
超大视场,超长飞行路径捕获大部分样品体积(>90%),具有高质量分辨率(MRP)。简化样品制备,更大机会捕获分析区域;获得更优的浓度统计;提高样品分析成功率
深紫外激光波长
吸热更均匀,减少蒸发场差异,促成更均匀的样品形状
提高样品分析成功率,更准确的三维重构
双激光束辐照
更均匀的热扩散,促进更均匀的蒸发
更准确的三维重构,提高MRP一致性


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