Jupiter XR 原子力显微镜是一款同时具有进行高成像速度和大范围扫描能力的原子力显微镜。Jupiter XR可用于200mm晶圆样品的扫描,实现更高的分辨率、更快的测量速度、更简便的用户体验,并且在学术研究和工业研发领域都具有出色的通用性
与其他同类大样品原子力显微镜相比,具有更高的分辨率
扫描范围可达100 μm,其速度比大多数原子力显微镜快5-20倍
从设置到获得结果,每一步都更简便、更快速
模块式设计更具灵活性,可以满足多种需求
更优越的性能
与同类大样品原子力显微镜相比,具有更高的分辨率
扫描范围可达100 μm,其速度比其他大样品台AFM快20倍以上
blueDriveeTM轻敲模式简化操作流程的同时显著提高测量结果的可重复性
更简单的用户体验
自动化的激光和检测器设置取代了复杂的手动调节旋钮
可以快速精准的定位到200 mm的样品上任意位置
高分辨率的光学系统可以使用户轻松定位到待测区域
使用单一扫描器可以实现任何扫描范围的成像,无论是原子级成像还是大范围100μm扫描都无需更换扫描器
可以满足多种研究需求的多功能性
支持各种成像模式
模块化设计,可以轻松地添加附件和以后的系统升级
灵活的软件既可以程序化测量步骤也可以应对高级的研究需求