Augent® OPG550 光学等离子体真空计

INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。Augent将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中，用于监测1 x 10-7至5 mbar的气体类型，并同时测量从1 x 10-7 mbar到大气的总压力。

Augent由一个集成的皮拉尼传感器保护，用于关闭20mbar以上的等离子体。快速光学测量原理原则上允许检测任何类型的气体。

优势：

• 高速检漏，可进行腔体检漏 

• 提高生产率和产量 

• 寿命长，不烧丝，有气涌保护 

• 可承受工艺化学反应 

• 智能算法，易于集成 

• 设计紧凑，占地面积小 

• 可靠、快速启动

典型应用

• 腔体泄漏检查，更快的RoR（上升率）测试

• 泄漏检查，发现气体供应管道的内部泄漏 

• 实时终端控制 

• 气体类型和浓度控制