Transpector® APX ALD 单压力残余气体分析仪

单压ALD/CVD和蚀刻先进工艺的专家

INFICON Transpector APX 是用于半导体和显示器制造过程监控市场领先的残余气体分析仪 (RGA)。INFICON 深知半导体和显示器客户有着独特的需求，Transpector APX 的最新修订版在保持行业领先的测量速度和灵敏度的同时，提供了更大的灵活性以满足特定的应用要求。Transpector APX 是用于 ALD、CVD、PVD 和蚀刻等半导体工艺的理想 RGA 过程监控器。

下一代 Transpector APX ALD 单压入口系统设计用于在 ALD 或 PECVD 等容易产生颗粒或涂层的制程化学中生存。这允许在所有关键工艺步骤中进行连续监测，以捕获数据点。此外，入口温度可控，可抵御腐蚀性气体，这对于腔室清洁终点监测应用至关重要。

优势

• 针对特定应用的平台设计，为您的ALD或CVD工艺提供最长的使用寿命，实现最佳的晶圆和面板保护以及工艺优化

• ALD准备就绪，测量速度超过每秒550个数据点

• 由于采用高性能泵系统，工厂占地面积减少 30%，安装更加简便

• 温控入口采用 INFICON 专利涂层，用于离散压力入口，可承受苛刻的腐蚀性化学物质

• 自动校准确保传感器与传感器、工具与工具腔室匹配的长期数据可靠性和准确性

• Transpector APX 与 FabGuard® 软件集成后成为强大的过程监控和诊断工具，并由 INFICON 世界级应用专家提供支持