200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空间分辨率和倾斜、分析性能
通过单极片实现0.078 nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX。
透射电子显微镜除了延续了日立公司配备的球面像差校正器的功能、自动校正功能，像差校正后的SEM图像和对称Dual SDD技术等特点。还融汇了透射电子显微镜HF系列中所积累的技术。
对于包括高端用户在内的广泛用户，我们提供亚Å级空间分辨率和高分析性能以及更多样化的观察和分析方法。
标配日立生产的照射系统球差校正器（附自动校正功能）
搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪
镜体和电源等的高稳定性使机体的性能大幅度提升
观察像差校正SEM/STEM图像的同时观察原子分辨率SE图像
采用侧面放入样品的新型样品台结构以及样品杆
支持高立体角EDX*的对称配置（对称Dual SDD*）
采用全新构造的机体外壳盖
配备日立生产的高性能样品杆*
高辉度冷场FE电子枪×高稳定性×日立制球面像差校正器
以长年积累起来的高辉度冷场FE电子源技术为基础，进行优化，进一步实现电子枪的高度稳定性。
此外，还更新了镜体，电源系统和样品台，以支持观察亚Å图像，并提升了机械和电气稳定性，然后与日立公司的球差校正器结合使用。
不仅可以稳定地获得更高亮度更精密的探头，而且自动像差校正功能可以实现快速校正，从而易于发挥设备的固有性能。使像差校正可以更实用。
支持高立体角EDX*的对称Dual SDD*
支持双重配置100 mm2 SDD检测器，以实现更高的灵敏度和处理能力进行EDX元素分析。
由于第二检测器位于第一检测器的对面位置，因此，几乎不会因为样品倾斜，导致X射线中的信号检测量发生变化。所以，即使是结晶性样品，也不用顾忌信号量，可完全按照样品的方向与位置进行元素分析。
此外，对于电子束敏感样品、低X光辐射量的样品，除了原子列映射，在低倍、广视野的高精细映射等领域也极为有效。
像差校正SEM图像/STEM图像 同时观察
配有标配二次电子检测器，可同时观察像差校正SEM/STEM图像。通过同时观察样品的表面和内部结构，可以掌握样品的三维构造。
在像差校正SEM图像中，除了可以通过校正球差来提高分辨率之外，还可以获取更真实地样品表面图像。
| 项目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 电子源 | W（310）冷阴极场发射型 | |
| 加速电压 | 200 kV、60 kV*1 | |
| 图像分辨率 | STEM | 0.078 nm（ADF-STEM图像） |
| TEM | 0.102 nm（晶格像） | |
| 倍率 | STEM | ×20～×8,000,000 |
| TEM | ×100～×1,500,000 | |
| 样品微动 | 样品台 | 偏心测角仪（Eucentric Goniometer）5轴样品台 |
| 样品尺寸 | 3 mm Φ | |
| 移动范围 | X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm | |
| 样品倾斜 | α＝±25°、β＝±35°（日立2轴倾斜样品杆*1） | |
| 像差校正器 | 配有日立照射系统球面像差校正器（标配） | |
| 图像显示 | PC | Windows® 10 *2 |
| 显示器 | 27英寸宽屏液晶显示器（机体控制显示器、第二显示器*1） | |
| 摄像头 | 标配伸缩式摄像头 屏幕摄像头*1（用于荧光板观察） | |
机体尺寸/重量
| 项目 | 宽度×进深×高度（mm） | 重量（kg） |
|---|---|---|
| 镜体（含电子枪） | 1,060×1,742×2,970 | 2,300 |
| 机体外壳盖 | 1,678×1,970×3,157 | 410 |
| 操作台 | 1,400×819×740 | 160 |
| 扩展操作台*1 | 580×819×740 | 53 |
| FE槽 | 1,041×840×1,317 | 520 |
| V0槽 | 398×630×1,046 | 180 |
| 控制电源 | 1,400×693×816 | 190 |
| 像差校正器电源 | 606×529×1,096 | 90 |
| 排气系统电源 | 913×663×1,790 | 470 |
| 转向系统电源 | 913×663×1,790 | 430 |
| 配重块 | 280×130×130 | 25 |
| Gatan控制器*1*3 | 576×648×1,173 | 150 |
| 冷却水控制装置 | 470×540×350 | 30 |
| 冷却水循环装置*1*3 | 518×724×1,371 | 95 |
| 干式泵*1 | 252×400×336 | 23 |
| 空压机*1 | 275×560×576 | 25 |
安装条件
| 项目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 室温 | 15～23℃（温度变化：0.2℃/h以内） | |
| 湿度 | 40～60% RH | |
| 电源 | 机体 | 单相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA 断路器容量 50 A |
| 冷却水循环装置*1*3 | 三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A | |
| 接地 | D种接地（100 Ω以下） | |
| 冷却水 | 水量 | 5.1～5.3 L/min 1系统、2.0～2.2 L/min 1系统 （水压0.25 MPa） |
| 水温 | 16～18℃（变动：±0.1℃以内） | |
| 气体 | SF6 | 99.9%以上、0～500 kPa |
| 干氮 | 99.9%以上、0～500 kPa | |
| 压缩空气 | 600 k～800 kPa | |
冀公网安备13110802000160号