闭循环无液氦扫描探针显微镜系统

 
 
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更新 2025-02-27 11:33
 
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中科艾科米(北京)科技有限公司

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详细说明

● 业界首创的闭循环无液氦制冷方式,样品温度低于4K,运行成本低,降温速度快

● 高刚性SPM探头,极低振动水平与高的温度稳定性媲美液氦杜瓦型系统

● 兼容qPlus AFM

● 支持五电极样品托,可实现变温的电学运输测试

● 可选光学通道,适用于光学实验

● 可SPM腔内原位沉积

● 可直接使用制冷剂(液氮/液氦)降温,实现快速降温及宽工作温区

● 易于安装,可将基于液氦杜瓦的湿式低温STM系统升级为闭循环无液氦制冷方式


SPM探头

兼容qPlus AFM

工作温度

4~300 K

室温降至最低温时间

约7 h

X/Y/Z粗移动范围

≥2×2×5 mm

X/Y/Z扫描范围

≥4×4×1 μm@±220 V RT

≥1.5×1.5×0.4 μm@±220 V LT

分辨率

亚纳米级分辨率

温度漂移

Z方向热漂移:≤20 pm/h@4K

XY方向热漂移:≤100 pm/h@4K

温度稳定性

±1 mk@恒温实验室环境

振动水平<2 pm
最小扫图电流<2 pA(外置前置放大器)

样品台

运动方式

三维运动、轴向旋转、样品面内旋转

温度范围

-150℃~室温(LN2冷却);室温~1000℃(E-Beam加热)

蒸发源

DN40CF 5个、DN63CF 1个(其他需求可按需定制)

可选项

光学通道,适用于光学实验

反射式高能电子衍射仪

低能电子衍射仪


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