HM-230多压力残余气体分析仪

HM-230多压力残余气体分析仪是一款集RGA（残余气体分析仪）、真空系统及智能进样模块于一体的在线质谱分析设备，高效适配多压力复杂工况，为先进制程稳定运行保驾护航。 

宽压适配

覆盖1E-8Torr~1.2atm全压力范围，提供1-100/200/300amu三种质量数选择，实时精准监测H₂、He、N₂、O₂、Ar等关键气体成分

在线分析

毫秒级响应速度，实时追踪工艺气体组分变化，一旦发现异常波动立即报警

一体集成

将RGA、真空系统、进样模块高度集成，无需额外搭建复杂真空系统，即接即测快速落地

抗污设计

采用抗污染涂层+表面钝化工艺，有效减少工艺沉积物对核心部件的污染，延长设备使用寿命