质量流量控制器 VEFC

适用惰性气体的 VEFC 结构紧凑，具备压电阀的大部分优势：超高动态、无级精度、超低电耗、超低发热、无需手动调节即可实现稳定流量。

超紧凑：宽度仅 24 mm

直接控制，动态压电阀

非常灵活：可个性化设置控制参数

出色的性价比

通过高效控制实现可持续运行

精确控制惰性气体：性价比之选

质量流量调节阀 VEFC 尤其适合用于半导体工业，但也适用于需要精确控制惰性气体的场合。VEFC 结构非常紧凑，是对受控气动系统产品组合的有力补充。同时，它还具有压电阀的相关优点：动态性能超高、无级精度、超低电耗、超低发热、无需手动调节即可实现稳定流量以及极高的性价比。

经济、安全、精确的氮气吹扫

将 VEFC 安装在负载端口，即可在单个吹扫步骤中调节不同流量。在预吹、预吹扫、过程吹扫和后吹扫过程中，VEFC 可确保只消耗绝对必要的氮气量。这样一来就能节省氮气，缩短过程时间，直至达到干燥的保护气体环境。

优点一览

超紧凑：宽度仅 24 mm

直接控制、动态性能优异的压电阀

超轻：重量仅 250 g

监测质量流量和输出压力

非常灵活：可个性化设置控制参数

性价比高