PDC200/210/510 等离子清洗机

适用于研究开发的小型等离子清洗机。

特点                            

• DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）。

• RIE模式。

• 均匀性高的电极构造。

• 操作简单的触摸屏控制器。

内槽

DP模式

RIE模式

技术参数