NanoTR 热反射法薄膜导热系数测量仪

热反射法 - 为纳米级薄膜应用量身定做的激光闪射法导热仪

为纳秒级热反射法导热仪，可测量微米、纳米级厚度薄膜的热扩散系数。

温度范围: RT，RT ... 300°C（选配）

样品尺寸: 10×10 ... 20×20mm

热扩散系数: 0.01 ... 1000mm2/s

测量模式: RF/FF

薄膜厚度: 30nm ... 20μm（取决于材质和测量模式）

主激光脉冲宽度: 0.5ps

TR基本功能

测量薄膜厚度方向的热扩散系数 层间接触热阻