TESCAN SEM / FIB-SEM 集成拉曼一体化显微镜

将拉曼成像和扫描电镜全面地结合在一起用于样品的综合分析是一种新颖的联用电镜技术。通过拉曼分析和扫描电镜的联用，材料表面细微的结构特征可与化合物的分子信息相结合。

拉曼光谱和扫描电镜成像的结合使得扫描电镜的分析性能得到扩展。拉曼成像是用于获得样品化学成分和分子空间分布的一种广为人知的光谱技术。它还可以用来获取 2D 和 3D 图像，以及深度方向的轮廓，来分析材料内部混合物的分布。拉曼光谱不仅适用于相鉴别，还能够用来研究材料的价态。有些拉曼位移是由作用在材料上的应力而产生，由此可以观察和测量该应力强度。通过拉曼谱峰的宽度，还可以评估固体材料的结晶度。通过拉曼谱峰的强度，人们还可以获得一些更深层的信息。拉曼谱峰的强度和材料的总量相关，还和层状材料特定层的厚度相关。因此，这种技术还可以用以区分单层、双层或多层的石墨区域。

• 集成化的软件界面，为用户提供友好的测量操作体验

• 测量结果关联性强，图像可叠加

• 保证扫描电镜和拉曼成像原有的性能不受到影响

• 拉曼显微镜用于分析混合物的组成和材料性质（应力、取向、结晶度）

• 拉曼光谱是EDS 的补充分析手段