新型“Simple SEM”功能
Simple SEM功能使用户能够方便地选择SEM图像的采集条件和视场角，然后自动采集SEM图像。日常工作可以更高效地完成。
新型“低真空混合二次电子探测器（LHSED）”
这种新型探测器可收集电子和光子信号，即使在低真空条件下也能提供具有高信噪比和增强地形信息的图像。
集成扫描电子显微镜（SEM）和能量色散X射线光谱仪（EDS）系统。
SEM和EDS的集成得到了进一步发展，Live Map（实时地图）功能可以实时显示观测视场角的元素分布图。
新的“实时3D”功能
当进行SEM观察以获得非均匀性和深度信息时，可以现场构建3D图像。
实时分析功能
嵌入式EDS系统可在图像观测期间显示实时EDS光谱，以实现高效的元素分析。
新的阶段导航系统LS功能
新的阶段导航系统LS可以获得四倍于传统型号（200 mm x 200 mm）的区域光学图像。该功能使用户能够获取观测样本的光学图像，并通过简单点击光学图像移动到所需的观测区域。
Zeromag
使用我们的Zeromag功能，样本导航比以往任何时候都更简单。您可以使用光学图像或支架图形定位成像区域或指定多个视场角上的分析位置。
显示特征X射线生成深度
有助于快速了解样本的分析深度（参考）。
SMILE VIEW?实验室，能够对图像和分析数据进行综合管理。
便于在短时间内生成从收集的SEM图像到元素分析结果的所有数据报告。
JSM-IT510系列有下面4种配置:
| BU（基本单元） | 基本类型， 高真空条件下观察 |
| A（分析型） | 分析型，标配EDS能谱 |
| LV（低真空型） | 低真空型，适用于高、低真空操作，配置BED |
| LA（低真空分析型） | 低真空分析型，适用于高、低真空操作，配置BED和EDS |
SEM规格
| 分辨率 | 高真空模式：3.0nm（30kV），15.0nm（1.0kV）；低真空模式：4.0nm（30kV、BED） |
| 放大倍数 | x5 至 x300，000 |
| 电子枪 | 钨灯丝，全自动电子枪调准 |
| 加速电压 | 0.3kV~ 30kV |
| LV压力调节 | 10~650Pa |
| 物镜光阑 | 4档，带XY微调功能 |
| 自动功能 | 灯丝饱和点调整、电子枪合轴调整、电子束对中调整、聚焦/散光/亮度/衬度调整 |
| 最大样品尺寸 | 200mm直径 x 75mm高 |
| 样品台 | 大型全对中样品台 X: 125mm Y：100mm Z：80mm 倾斜：-10~90o 旋转：360o |
| 图像模式 | 二次电子像、REF像、成分像、形貌像、阴影像 |
| 图像尺寸 | 640 x 640、1280 x 960、 2560 x 1920、 5120 x 3840 |
| 照片辅助功能 | 蒙太奇、简单SEM、Zeromag、实时3D |
| 操作支持功能 | 菜单（标准菜单/自定义菜单），测量、样品交换导航、信号深度功能、3D测量* |
| 操作系统 | Win10 64位 |
| 显示器 | 23.8英寸触控面板 |
| 语言切换 | 日语、英语、中文（可在用户界面上操作） |
| 真空系统 | 全自动、TMP、RP |
主要可选项
1. 背散射电子探测器BED
2. 低真空混合二次电子探测器LHSED
3. 低真空二次电子检测器LVSED
4. 能谱仪EDS
5. 波谱仪WDS
6. 电子背散射衍射图样EBSD
7. 真空预抽室LLC
8. 样品台导航系统SNS
9. 大区域样品台导航系统SNSLS
10. 样品室相机CS
11. 操作面板OP2
12. LaB6电子枪
13. 3D分析软件SVM
冀公网安备13110802000160号