UVISEL 2 VUV 真空紫外椭偏仪

UVISEL 2 VUV专为VUV 测量设计，整个系统处于真空状态，无氧气吸收。具备高准确性；超快测量速度；快速样品室抽真空能力，方便快速更换样品；氮气消耗量少。光谱范围可覆盖147-2100nm。

UVISEL 2 VUV能够在充氮气或抽真空模型下工作。整个机械设计经过优化，氮气消耗量低至6L/min，载样速度快，2分钟内即可完成。真空样品仓门朝向操作人员更便于样品装载。

UVISEL 2 VUV在VUV波段具有高灵敏度，它集成了大功率双光源、高通量光学系统以及CaF2光弹调制晶体和两个时髦的单色仪。从147nm到850nm，样品测量时间少于8分钟，具有良好的信噪比。

UVISEL 2 VUV通过显著减少氮气消耗量、吹扫及测试时间，改变了VUV椭偏仪的世界。

DeltaPsi2软件提供了从测试到建模分析，输出报告，以及自动操作的全部功能控制，用户界面直观、友好，非常适用于科研及工业客户使用。

UVISEL 2 VUV测试速度快、运行成本低，使其成为分析147nm到2100nm波段薄膜的理想工具。UVISEL 2 VUV椭偏仪可以定制化和自动化。

• 载样速度快

• 吹扫速度快

• 氮气消耗少

• 测试速度快

• 两种操作模式可选：氮气保护或抽真空