致真精密仪器(青岛)有限公司成立于2019年7月26日,是一家以高端科研仪器、教学仪器及集成电路产线测试设备的研发与生产为主要业务的国家高新技术企业和国家专精特新“小巨人”企业,总部位于山东省青岛市崂山区。
公司研发了国内首台商用磁光克尔显微镜和中国首台产业级晶圆磁光克尔测量仪,实现了该类仪器的国产化。公司曾获得中国仪器仪表学会技术发明一等奖,并已完成多轮融资,于2024年完成B轮融资。
致真精密仪器研发了磁性测量设备系列产品,包括2020年6月研发成功的商用磁光克尔显微镜,以及2021年夏推出原理样机后上市的产业级晶圆磁光克尔测量仪。该系列还包括高精度磁滞回线测量仪、微型MOKE磁性测量仪。公司于2024年10月申请了高低温振动样品磁强计专利。
公司的纳米形貌表征设备系列以原子力显微镜为主,包括商用原子力显微镜和晶圆级原子力显微镜。原子力显微镜的测量精度可达30皮米级别。
在集成电路测试与平台设备系列方面,公司产品涵盖各类磁场探针台(包括晶圆级和低温超导型号)、磁性芯片CP和FT测试机等产线级设备、全开放强磁场低温光学平台、自旋芯片原理教学演示系统,以及芯片制造与应用教学训练成套系统。
公司产品还包括物理气相沉积设备、高精度VSM、MOKE等仪器。


