除高精度扫描器和各种测量自动化功能，还配置两种共享坐标样品台功能。通过多种设备的关联解析，实现了单个设备无法实现的多维缺陷评价和故障解析。
扫描探针显微镜AFM5500MⅡ配置宽范围平板扫描器，降低了机械原因造成的测量误差。自动悬臂更换等自动化功能有助于提升品质管理，提高测试效率。
单独使用AFM5500MⅡ测试可以得到形貌和物理测量结果，再利用与SEM/CSI等其他显微镜的共享坐标样品台功能，可以实现高精度的故障解析与缺陷评价。
此外，由于新增了AFM标记功能，多台设备可以轻松测量样品的同一位置。
AFM自动化
通过自动化控制大大提高效率
排除人为操作失误导致的测量误差
一键自动测量/处理/分析（提高整体测试效率）
从测量到粗糙度解析的一系列操作，只需单击一次即可完成。通过自动测量功能，基于所选条件单击即可实现从自动测量到自动粗糙度解析。通过为每个样品设置程序文件，可以提高样品的测试效率，并且还支持在样品台移动范围和扫描器扫描范围内的连续自动多点测量。此外，程序文件还可以嵌入用于自动参数调整的RealTune® II 和SIS模式。通过这些功能的搭配使用，有效提升操作性，避免人为造成的数据采集误差，确保数据的可靠性。
从测量到分析，只需单击一次即可完成
支持超大样品或多个样品的自动多点测量
同类型多样品更换后的连续测量更简便
支持以csv格式输出表面粗糙度数据
・平板扫描器大大降低图像扭曲
以前AFM一直使用的压电扫描管，其圆弧运动会导致数据误差，因此，通常通过软件校正方式进行平滑处理。但是，软件校正方式也不能完全消除扫描管圆弧运动的影响，仍然会出现图像扭曲。AFM5500MⅡ配置了最大200 µm扫描范围的平板扫描器，样品测试完全不受圆弧运动的影响，测试结果更加准确。
・Z轴垂直度高
以前AFM一直使用的扫描器，在垂直伸缩时，会出现弯曲（串扰）。这是左右形貌差和测量图像扭曲的原因。
AFM5500MⅡ配置垂直方向无串扰的扫描器，抑制图像水平扭曲，使得测量结果更加准确。
利用探针评价功能进行探针尖端直径管理（探针尖端直径管理可提升数据可靠性）
在原子力显微镜中，使用的悬臂探针尖端直径对测量结果的影响很大。
过去，当粗糙度测量结果出现问题时，由于无法掌握悬臂探针尖端直径的数值，因此很难确认数值差异是由于实际样品的表面变化引起的，还是由于探针尖端磨损、测量参数设定造成的。
悬臂探针直径是纳米级别品质管理中必不可少的重要验证因素，探针评价功能可以量化悬臂探针直径的数值，打破以往的测量局限，能够把握测量条件，提升数据的可靠性。
通过对悬臂探针直径进行管理，提升数据的可靠性。
更容易判断何时需要更换悬臂。
SIS模式可提升可追踪性（通过减少针尖损伤和提高可追踪性，有效提高数据可靠性）
SIS（Sampling Intelligent Scan）模式只有在需要测量样品形貌和物性信息时才靠近测量点，自动控制探针位置，完全消除对测量不利的水平力，即可测量吸附力较大或粗糙的凹凸表面。
通过提升可追踪性，可以获得高可靠性的数据。
减少柔软样品变形。
支持机械物性/电磁物性等广泛的物性测量
扫描探针显微镜是一种不仅可以测量形貌，还支持各种局部物性检测的显微镜。AFM5500MⅡ支持可同时获取弹性模量、形变、吸附力和摩擦力等各种机械物性的SIS-ACCESS/SIS-QuantiMech、以及导电性、压电分布和表面电位等各种电磁物性测量。
电位测量模式 AM-KFM/FM-KFM（KFM可用于定量和灵敏度等不同场景）
除调幅开尔文力显微镜（AM-KFM）外，AFM5500MⅡ还新增了调频开尔文力显微镜（FM-KFM）。
AM-KFM是检测探针与样品之间的静电，利用零点法测量表面电位。FM-KFM是先对针尖与样品之间的静电进行微分，再进行检测，同样利用零点法测量表面电位。
FM-KFM与AM-KFM相比，信号主要来自于探针的尖端，电位检测灵敏度更高，在电位的定量分析上更胜一筹。AM-KFM更适用于单一材料间的电位和功函数对比等，FM-KFM更适用于测量需要进行精细周期结构和海岛结构量化的复合材料，两种模式点击即可自由切换。
FM-KFM是先对相互作用进行微分，再进行检测，并在探针尖端检测静电力，因此在电位定量分析方面优于AM-KFM。
与检测探针尖端静电的FM-KFM相比，AM-KFM的有效传感器面积更大，信噪比更优异。
同时支持机械物性和电磁物性等多种物性测量
扫描探针显微镜是一种不仅可以测量形貌，还支持各种局部物性检测的显微镜。AFM5500MⅡ支持可同时获取弹性模量、形变、吸附力和摩擦力等各种机械物性的SIS-ACCESS/SIS-QuantiMech、以及导电性、压电分布和表面电位等各种电磁物性测量。
| 产品名称 | AFM5500MⅡ | ||
|---|---|---|---|
| 型号 | AFM5500M | ||
| 尺寸・重量 | 装置外观尺寸・重量※1 | 750 mm(W) x 877 mm(D) x 1400 mm(H)、约361 kg | |
| AFM主机外观尺寸・重量※1 | 340 mm(W) x 502.5 mm(D) x 546 mm(H)、约31.6 kg | ||
| 检测系统 | 检测方式 | 光杠杆法 | |
| 光源 | SLD（超发光二极管激光器） | ||
| 悬臂加振方式 | 压电激振 | ||
| 规格 | 基本规格 | RMS噪音水平※2 | ≤0.04 nm |
| 重现性※2 | XY ≤ 15 nm（3σ、10 μm垂直间隙测量） Z≤1 nm（3σ、100 nm深度测量） | ||
| XY正交性※2 | 90°±0.5°（在扫描角度0°、45°、90°时） | ||
| 平坦度（圆弧误差）※2 | ≤2 nm/50 μm | ||
| 最大样品尺寸 | 最大 φ100 mm（4英寸）、厚度 20 mm、重量 2 kg | ||
| 扫描器（扫描范围） | XY:最大 200 μm/Ｚ:最大 15 μm（XY:闭环控制/Z: 位移传感器测量） | ||
| 光学显微镜视野※3 | 放大倍率: 1X～7X 910 μm ×650 μm～130 μm×90 μm | ||
| 基本功能 | AFM、DFM、PM（相位）、FFM | ||
| 减震隔音机构 | 台式主动减震台、隔音罩 | ||
| 自动精密马达台 | |||
| 最大观察范围 | 直径 100 mm（4英寸） | ||
| 马达台移动范围 | XY≥100 mm、Z≥21 mm | ||
| 最小步进※4 | XY 2 μm、Ｚ 0.04 μm | ||
| AFM主机 | RealTuneⅡ | 自动调节悬臂振幅、接触力、扫描速度以及信号反馈 | |
| 操作界面 | 导航功能、多窗口显示功能（测试/分析）、3D图像叠加功能、扫描可动范围/测量记录显示功能、数据批处理分析功能、探针评价功能、样品台对中功能、程序功能、故障诊断功能 | ||
| 实时测量（像素点） | 四通道测量（最大2048x2048) 双通道测量（最大4096x4096) | ||
| 长方形扫描 | 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、 128:1、256:1、512:1、1024:1 | ||
| 数据分析 | 三维显示功能、线粗糙度分析、面粗糙度分析、截面图（任意、平均） | ||
| 自动控制功能 | 自动更换悬臂、光轴自动调节 | ||
| 选配功能 | 测量环境 | 大气环境 | |
| 扩展测量模式（选配） | SIS形貌、SIS物性、SIS-ACCESS、SIS-QuantiMech（弹性模量测定功能） 机械物性系统（LM-FFM、VE-AFM、Adhesion） 电气特性Ⅰ（KFM（AM/FM）、EFM（AC/DC)、PRM、MFM） 电气特性Ⅱ（SSRM、Current（Nano）、Current（Pico）） | ||
| 其他功能（选配） | 最高至100 V 偏压放大器、 外部偏压输入电缆、软X射线静电消除装置、紧急停机键 | ||
| 共享坐标样品台功能 （选配） | AFM标记 | 样品厚度 | 4 mm以下 |
| SEM-AFM | 最大样品尺寸 | φ20 mm、厚度 7 mm | |
| 对中精度 | ≤±10 μm（AFM对中精度） | ||
| 支持型号 | 欢迎垂询。 | ||
| CSI-AFM | 最大样品尺寸 | φ80 mm、厚度 7 mm | |
| 对中精度 | ≤±10 μm（AFM对中精度） | ||
| 支持型号 | 欢迎垂询。 | ||
| 电源 | AC 100～240 V±10％、单相、50/60 Hz、15A、1系统、D种接地、带接地 | ||
