SE系列集高性能与通用性于一身
SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品，配置超高分辨率与观察能力，而且不像部分SEM产品，受安装样品尺寸与重量的限制，此系列可以通过简单的操作实现数据采集。可用于钢铁等工业材料，汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。
此外，SE系列包括4种型号（两种类型，两个等级），满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途（如微观结构控制：用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能；异物、缺陷分析：用于提高产品品质）选择适合的产品。
热场SEM支持低真空，搭载超大样品仓，可扩展实现更多功能
电子显微镜是进行材料形貌评价与分析的重要手段，而且直接观察样品的需求很常见。
SU3900/SU3800SE系列搭载牢固的多用途样品仓，对于非导电性样品，无需进行导电处理（金属镀膜）；对于超大超重样品，无需进行切割等破环处理，可以直接安装到样品台，实现样品的多角度观察。
观察肉眼看不到的细节，更高分辨率、极表面观察
此系列搭载新开发的热场电子枪，无论是在高加速电压还是低加速电压区域，均可获得超高分辨率图像。
高端型号（SE Plus）可以满足对样品极表面的观察需求。
标配低电压高灵敏度背散射电子探测器，可切换采集信号获得成分和凹凸信息。
与选配的UVD探测器组合使用，可以获得样品多种类型信息，实现多种模式观察。
自动化、辅助功能让操作更便捷
SU3900/SU3800 SE系列配备自动光学系统调整功能，可大量简化操作流程。
此外，使用选配功能【EM Flow Creator】，可以自动连续获取图像。
将条件设置（如放大倍率，样品台位置等）、调整对焦/对比度等SEM功能转化为可组合的模块，生成一系列观察程序。每个客户都可以创建自己的观察程序。
通过拖拽模块，可以像流程表一样创建程序。通过执行创建的程序，即可实现自动观察。
| 项目 | SU3900SE/SE Plus | SU3800SE/SE Plus | |
|---|---|---|---|
| 电子光学系统 | 二次电子分辨率 | 0.9 nm@30 kV | |
| 2.5 nm@1 kV | |||
| 1.6 nm@1 kV(*1) | |||
| 放大倍率 | 5～600,000× | ||
| 电子枪 | ZrO热场发射(肖特基热场发射) | ||
| 加速电压 | 0.5 kV～30 kV | ||
| 着陆电压(*1) | 0.1 kV～2 kV | ||
| 束流 | 最大150 nA | ||
| 真空系统 | 低真空模式 | 6～150 Pa | |
| 探测器 | 标配探测器 | 二次电子探测器(SED) | |
| 顶探测器(TD) (*2) | |||
| 5分割背散射电子探测器(BSED) | |||
| 选配探测器 | 高灵敏度低真空探测器(UVD) | ||
| 马达台 | 马达台驱动方式 | 5轴优中心马达台 | |
| 移动范围 | |||
| X | 0～150 mm | 0～100 mm | |
| Y | 0～150 mm | 0～50 mm | |
| Z | 3～85 mm | 3～65 mm | |
| T | -20～90° | ||
| R | 360° | ||
| 样品仓 | 样品尺寸 | 最大直径300 mm | 最大直径200 mm |
