BFI Series 明场光学缺陷检测设备系列

明场光学缺陷检测设备（BFI，Bright Field Inspection）使用高亮度、宽光谱照明，宽光谱大NA物镜成像，延迟积分型（TDI，Time Delay Integration）图像传感器采集图像；通过对图像信号进行数字图像处理以识别和分类有图形晶圆上的缺陷及其特征。

明场光学缺陷检测设备能够使用多种波段和多种光学模式对前道工艺制程的有图形晶圆开展检测，以实现不同工艺制程中的缺陷的快速识别与分类，从而指导工艺优化与控制，进而促进良率管理与提升。