HM-150高压力残余气体分析仪

HM-150高压力残余气体分析仪，专为高压严苛工况打造，它就像产线的“防损尖兵”，以硬核技术重塑良率标杆，为高端制造的稳定生产保驾护航。 

高压兼容

支持最高2Pa工作压强，高效适配 PVD工艺监测

全谱扫描

1-50 amu 及 1-100 amu 双质量数范围，支持全谱扫描与特定质量数扫描，可精准分辨 H₂、He、N₂、O₂、Ar 等气体，实现快速定性定量分析

极致灵敏

最低 2E-9 Pa 的分压检测限，精准锁定污染源

智控预警

支持API集成与自动监测报警功能，赋能数字化产线