HM-130高性能残余气体分析仪

HM-130高性能残余气体分析仪，专为半导体及真空工艺量身打造，它以自研核心技术，为真空制程装上“数字慧眼”。

超高灵敏

2E-15Torr最小可检分压，精准捕捉超低浓度气体杂质

瞬时响应

2ms/点高速扫描，实时捕捉制程瞬态变化

宽幅探测

覆盖1–300amu全量程，兼容多场景、多气体的定性定量分析

稳定可靠

面向半导体与真空镀膜严苛环境设计，长期运行性能稳定，确保量产工艺高度一致