● 业界首创的闭循环无液氦制冷方式，样品温度低于4K，运行成本低，降温速度快
● 高刚性SPM探头，极低振动水平与高的温度稳定性媲美液氦杜瓦型系统
● 兼容qPlus AFM
● 支持五电极样品托，可实现变温的电学运输测试
● 可选光学通道，适用于光学实验
● 可SPM腔内原位沉积
● 可直接使用制冷剂（液氮/液氦）降温，实现快速降温及宽工作温区
● 易于安装，可将基于液氦杜瓦的湿式低温STM系统升级为闭循环无液氦制冷方式
SPM探头 | 兼容qPlus AFM | |
工作温度 | 4~300 K | |
室温降至最低温时间 | 约7 h | |
X/Y/Z粗移动范围 | ≥2×2×5 mm | |
X/Y/Z扫描范围 | ≥4×4×1 μm@±220 V RT | |
≥1.5×1.5×0.4 μm@±220 V LT | ||
分辨率 | 亚纳米级分辨率 | |
温度漂移 | Z方向热漂移：≤20 pm/h@4K | |
XY方向热漂移：≤100 pm/h@4K | ||
温度稳定性 | ±1 mk@恒温实验室环境 | |
| 振动水平 | ＜2 pm | |
| 最小扫图电流 | ＜2 pA（外置前置放大器） | |
样品台 | 运动方式 | 三维运动、轴向旋转、样品面内旋转 |
温度范围 | -150℃~室温（LN2冷却）；室温~1000℃（E-Beam加热） | |
蒸发源 | DN40CF 5个、DN63CF 1个（其他需求可按需定制） | |
可选项 | 光学通道，适用于光学实验 | |
反射式高能电子衍射仪 | ||
低能电子衍射仪 | ||
