ACA系列是科研版的无掩模版紫外光刻机，其基于空间光调制技术，实现了数字掩模光刻，极致的灵活性使其成为科学研究的不二之选。设备搭载长寿命、高功率的紫外光源，设备稳定，上手简单。其独特的原位光绘和交互式套刻指引功能，让光刻和套刻更加容易和精准。ACA系列设备为科研工作提供了强大的支持，助力科学研究领域的发展和创新。
特征尺寸0.4μm
6英寸光刻面积
高精度步进光刻
无掩模光刻机
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